Innovative SU-8 Lithography Techniques and Their Applications

机译：创新的sU-8光刻技术及其应用

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Jeong Bong Lee; Kyung-Hak Choi; Koangki Yoo;
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年度 2014
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1. Innovative SU-8 Lithography Techniques and Their Applications [J] . Jeong Bong Lee, Koangki Yoo, Kyung-Hak Choi Micromachines . 2014,第1期

机译：创新的SU-8光刻技术及其应用
2. New fabrication techniques of SU-8 fiber holder with cantilever-type elastic microclips by inclined UV lithography in water using single Mylar mask [J] . Zhong-geng Ling, Kun Lian Microsystem Technologies . 2010,第3期

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3. New fabrication techniques of SU-8 fiber holder with cantilever-type elastic microclips by inclined UV lithography in water using single Mylar mask [J] . Zhong-geng Ling, Kun Lian Microsystem Technologies . 2010,第3期

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8. Modeling Validation, Techniques and Applications for X-Ray Lithography. [R] . Hagouel, P. I., Neureuther, A. R. 1976

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